5月9日音尘，据集微网报谈，“据报谈，上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)自主研发的系列28nm浸没式DUV光刻机，近日完成首批批量请托，插足量产工艺考据阶段。”在该音尘发布之后，坐窝激发了业内的热议。但是，芯智讯在经由与光刻机及晶圆制造企业干系东谈主士换取后发现，该著作里面天职容似乎存在不少事实问题。1、集微的报谈并未给出具体的信源，只说“据报谈”，到底是据哪家着实的媒体报谈，根蒂没提。这不合适这种新闻的严肃性。

2、报谈称“2026年1月，上海微电子在长三角半导体产业峰会上，初次官宣SSA800系列收场全面量产。”

但是，这个所谓的“长三角半导体产业峰会”根蒂莫得任何巨擘媒体的干系报谈，也查不到具体的举办时辰、地点、掌握方及与会嘉宾和企业。更别说什么“上海微电子官宣”了，上海微电子的官方从未厚爱暴露过上述音尘。

天然网上粗略找到本年1月一些自媒对于“长三角半导体产业峰会”的音尘，但是也一谈王人是与“上海微电子官宣SSA800系列量产”绑定的信息。其时，斗鱼体育app中国官网下载笔者也干系注到过这个音尘，但是以为是“小作文”，市集也有过一轮基于这个音尘炒作光刻机观点股。

3、报谈还指出“2026年3月，在SEMICON China2026海外半导体博览会上，上海微电子初次公开展示了该机型。”

可是，芯智讯在SEMICON China2026海外半导体博览会有去过上海微电子的展台，现场根蒂就莫得展示所谓的样机。况且在展会时代和展会落幕后的一段时辰，也根蒂莫得干系媒体报谈此事。

△芯智讯在SEMICON China2026展会上海微电子展台拍摄的像片

4、报谈称“SSA800系列采取193nm ArF浸没式光刻时代，单次曝光原生维持28nm制程，亚搏app官方注册入口可通过多重曝光工艺牢固收场 14nm 乃至更先进的工艺坐褥。缔造套刻精度规模在2.3~2.5nm，量产良率牢固在90%~95%区间，每小时可处分150片晶圆。”

据芯智讯了解，SSA800骨子上即是近几年市集一直听说的国产“28nm光刻机”，是一款193nm ArF浸没式光刻机，对场所是ASML TWINSCAN NXT:1950i。尔后者的专用卡盘套刻精度为2.5nm，羼杂匹配套刻精度为3.5nm，每小时可处分200片晶圆。是以，说SSA800系列套刻精度规模在2.3~2.5nm，每小时可处分150片晶圆，应该是大差不差。

不外，说SSA800系列的“量产良率牢固在90%~95%区间”似乎是有点离谱了。因为光刻机自己并莫得所谓的“量产良率”的说法。

一位光刻机厂商里面东谈主士对芯智讯直言：“这是假音尘，光刻机何处来的良率。”即便说的是在产线上替代ASML光刻机后芯片最终产出的量产良率也很夸张。

要知谈台积电的28nm是在2011年量产的，之后资历较长的良率爬坡阵痛期。2012年上半年，英伟达和高通王人曾公开憎恨良率不及、产能吃紧。到2012年8月，中国台湾媒体财征引供应商音尘称良率已栽植至杰出80%。

一位国内晶圆代工场里面东谈主士告诉芯智讯，当今SSA800系列并未插足国内的生意化晶圆厂，似乎依然在“ICRD”进行测稽察证。是以何来的量产批量请托，何来的“90%~95%”量产良率？

期盼国产光刻机得到冲破，是每一个护理中国科技发展的东谈主最朴素的神气。咱们渴慕看到“卡脖子”清单上的花式被一项项划掉，也渴慕听到国产缔造在先进制程上得到冲破的音尘。但是，这种渴慕越是热烈，就越应该守住感性的底线。失实的、自嗨的音尘，伤害的是公众对果然发达的判断力，也温顺了产业链高卑劣一步一个脚印攻坚的严肃性。信得过的解围，从来不需要靠失实的“放卫星”来阐发我方，时辰会给出最淳厚的谜底。

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